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國(guó)產(chǎn)5nm蝕刻機(jī)下半年交付臺(tái)積電美國(guó)工廠？ 中關(guān)村在線     2022-08-03 13:41    

近日有消息稱，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司制造的5nm蝕刻機(jī)將于今年下半年交付臺(tái)積電美國(guó)工廠，這可以說(shuō)是國(guó)產(chǎn)蝕刻機(jī)的一大突破。

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