日本taiko大晃機(jī)械RMC系列真空泵

產(chǎn)品詳細(xì)信息：

日本大晃機(jī)械taiko螺桿式干式真空泵，是采用獨(dú)自的螺桿形狀的干式真空泵，實(shí)現(xiàn)了全球螺桿泵的轉(zhuǎn)速，棟吸氣到排氣采用非接觸單段壓縮，其特點(diǎn)是可以地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒，廣泛用于半導(dǎo)體，液晶，太陽能電池，醫(yī)藥，化工等真空行業(yè)。

主要用途：

半導(dǎo)體制造工程

FPD制造工程

太陽能電池制造工程

產(chǎn)品規(guī)格如下：

TD 螺桿干式真空泵 650 to 3000 to 0.7

定序器控制型

RMC 機(jī)械式助力器 3500 to 20000 to 0.1

BEH 螺桿干式真空泵 7000 to 30000 to 0.08

TRIC 螺桿干式真空泵 30000 to 60000 to 0.08

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