現(xiàn)代線鋸的核心是在研磨漿配合下用于完成切割動作的超細(xì)高強(qiáng)度切割線。多可達(dá)1000條切割線相互平行的纏繞在導(dǎo)線輪上形成一個水平的切割線網(wǎng)。馬達(dá)驅(qū)動導(dǎo)線輪使整個切割線網(wǎng)以每秒5到25米的速度移動。切割線的速度、直線運(yùn)動或往復(fù)運(yùn)動都會在整個切割過程中根據(jù)硅錠的形狀進(jìn)行調(diào)整。在切割線運(yùn)動過程中,噴嘴會持續(xù)向切割線噴射含有懸浮碳化硅顆粒的研磨漿。
硅塊被固定于切割臺上,通常一次4塊。切割臺垂直通過運(yùn)動的切割線切割網(wǎng),使硅塊被切割成硅片(圖2)。切割原理看似非常簡單,但是實際操作過程中有很多挑戰(zhàn)。線鋸必須平衡和控制切割線直徑、切割速度和總的切割面積,從而在硅片不破碎的情況下,取得一致的硅片厚度,并縮短切割時間。