上海蘇州嘉興張家港無錫二手光伏單晶爐設(shè)備回收公司

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硅單晶在等直徑生長時(shí)所需要的電加熱功率，大小主要和熱場大小保溫性能、爐子、裝料料、單晶直徑長度、等徑堝位、拉速等有關(guān)，一般熱場越大功率越大，目前常用有18寸、20寸、22寸三種熱場，功率一般是35-48kw、40-55kw、48-65kw，有些設(shè)計(jì)不合理的熱場功率會(huì)偏差非常大。。。

為正確、規(guī)范地操作單晶爐，確保生產(chǎn)作業(yè)正常，特制訂本規(guī)范。

2、 適用范圍

適用于TDR-70A/B和JRDL-800型單晶爐的操作。

3、 單晶爐操作工藝流程

作業(yè)準(zhǔn)備熱態(tài)檢漏取單晶和籽晶石墨件取出冷卻真空過濾器清洗真空泵油檢查更換石墨件清洗單晶爐室清洗石墨件安裝石英坩堝安裝硅料安裝籽晶安裝抽空、檢漏充氬氣、升功率、熔料引晶、縮頸、放肩、轉(zhuǎn)肩等徑生長收尾降功率、停爐冷卻

4、 主要內(nèi)容

A. 作業(yè)準(zhǔn)備

a. 進(jìn)入單晶車間須穿戴好潔凈工作服、鞋。

b. 開爐前，按工藝要求檢查水、電、氣，確認(rèn)無誤后方能開爐。

c. 準(zhǔn)備好一次性潔凈手套、耐高溫手套、毛巾、紙巾、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。

d. 準(zhǔn)備好鉗子、扳手和各類裝拆爐專用工具。

e. 取單晶的架子、裝石墨件的不銹鋼小車、裝堝底料的不銹鋼筒和裝硅料的不銹鋼小車，并處理干凈。

f. 用毛巾將爐體從上到下一遍，擦洗時(shí)注意不要將所有控制接線及開關(guān)碰斷或碰壞，并把爐子周圍清掃干凈。

B. 熱態(tài)檢漏

a. 檢查上一爐功率關(guān)閉時(shí)間，在單晶冷卻4.0小時(shí)（TDR-70A/B型單晶爐）、5.0小時(shí)（JRDL-800型單晶爐）后，關(guān)閉氬氣（只關(guān)閉氬氣閥門，主、付室流量計(jì)調(diào)節(jié)閥打開并分別調(diào)節(jié)到30L/Min），開始抽高真空，并作時(shí)間記錄。

b. 待爐內(nèi)壓力到達(dá)極限（要求達(dá)到3Pa以下）后，先關(guān)閉主室球閥而后關(guān)閉真空泵電源進(jìn)行檢漏，并作相應(yīng)時(shí)間記錄，若0.5小時(shí)內(nèi)抽不到3Pa以下時(shí)，交有關(guān)維修人員處理，在此期間須配合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐，并作相關(guān)記錄。

c. 檢漏要求3分鐘以上，漏氣率<0.34Pa/min為正常，同時(shí)作好漏氣率記錄，若漏氣率＞0.34Pa/min時(shí)，交有關(guān)維修人員處理，在此期間須配合有關(guān)維修人員進(jìn)行裝拆爐，并作相關(guān)記錄。

C. 取單晶和籽晶

a. 熱態(tài)檢漏后，旋松付室小門4個(gè)螺絲，打開氬氣閥門充氬氣至常壓，關(guān)閉氬氣，旋開付室小門4個(gè)螺絲，打開付室小門。

b. 提升單晶至付室，從付室小門內(nèi)確認(rèn)單晶升至所需高度，若無異常，蓋住翻板閥，打開液壓泵，升起付室。

c. 把接盤移到爐筒口處，緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)付室至側(cè)面。

d. 把取單晶的架子放在付室爐筒正下方，準(zhǔn)備接單晶。

e. 穩(wěn)定單晶，移開接盤，按下籽晶快降，將單晶降入架子內(nèi)。

f. 確認(rèn)單晶完全入架子內(nèi)后，按住籽晶，用鉗子將籽晶從細(xì)徑處鉗斷，鉗斷籽晶后，應(yīng)穩(wěn)定重錘，防止重錘快速轉(zhuǎn)動(dòng)，損壞鋼絲繩。

g. 將籽晶從重錘上取下，放在指定場所，再將重錘升至付室內(nèi)適當(dāng)位置。

h. 將單晶移到中轉(zhuǎn)區(qū)，及時(shí)、準(zhǔn)確的將單晶編號寫在單晶上，待自然冷卻后對單晶進(jìn)行各項(xiàng)參數(shù)檢測并作好記錄。

D. 石墨件取出冷卻

a. 石墨小件取出

1) 打開液壓泵電源，按爐蓋升按鈕上升爐蓋。爐蓋上升到位后，再旋轉(zhuǎn)爐蓋到側(cè)面。

2) 戴好耐高溫手套按順序取出導(dǎo)流筒及保溫蓋放在裝石墨件的不銹鋼小車上，注意要拿穩(wěn)并輕放。

3) 戴好耐高溫手套用鉗子夾住石英坩堝的上端部分提起，使其松動(dòng)，將石英坩堝取出。若石英坩堝能將堝底料全部帶出直接放入不銹鋼筒；若不能則將先取出石英坩堝，剩下的堝底料隨三瓣堝一并取出后，再將堝底料放入不銹鋼筒內(nèi)。若出現(xiàn)悶爐等意外情況則用鉗子像裝料一樣一塊塊取出，直至徹底取出。后將不銹鋼筒移到指定地方，并寫上單晶編號，自然冷卻。冷卻后對堝底料進(jìn)行重量檢測并作好記錄。

4) 戴好耐高溫手套依次取出三瓣堝、堝底放在裝石墨件的不銹鋼小車上，錯(cuò)誤！鏈接無效。放上后要注意放穩(wěn)當(dāng)。

5) 用堝桿板手從堝桿中央孔的位置擰下不銹鋼螺絲，取出堝桿板手，再將堝桿連不銹鋼螺絲放在不銹鋼小車上，注意堆放穩(wěn)當(dāng)。

6) 取出的石墨件一并放在不銹鋼小車上，在不銹鋼小車邊掛上石墨件所屬爐號牌，移到指定的位置，自然冷卻，移動(dòng)過程中注意石墨件放置，防止墜落。

b. 石墨大件的取出（一般5爐做一次，須作好大清記錄）

1) 取出上保溫罩放在不銹鋼小車上。

2) 取下熱電錐，將其及對應(yīng)的密封及玻璃放到適當(dāng)?shù)奈恢靡苑艙p壞丟失。

3) 打開油泵開關(guān)，按住爐筒升按紐，升起爐筒至限位，旋轉(zhuǎn)爐筒，并降至適當(dāng)位置。

4) 取出中保溫罩放在不銹鋼小車上。

5) 先取下加熱器螺絲蓋，再用專用工具取下加熱器螺絲后，取下加熱器螺絲和加熱器放在不銹鋼小車上。

6) 依次取出電極護(hù)套、電極石英環(huán)、堝桿護(hù)套、爐底上壓片、爐底上壓片下小石墨碳?xì)?、排氣套管、下保溫罩、爐底壓片、爐底碳?xì)帧⑹姌O等放在不銹鋼小車上。在不銹鋼小車邊掛上石墨件爐號牌，移到指定的位置，自然冷卻，移動(dòng)過程中注意石墨件放置，防止墜落。

E. 真空過濾器清洗

a. 準(zhǔn)備好吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手，帶好手套、防塵口罩。

b. 用扳手打開真空過濾器蓋螺絲，取出過濾網(wǎng)。

c. 用吸塵刷仔細(xì)清洗過濾網(wǎng)及過濾器內(nèi)的揮發(fā)物。

d. 將清洗后的過濾網(wǎng)緩慢放進(jìn)過濾器內(nèi)。

e. 用吸塵刷清洗過濾器蓋，用沾酒精的紙巾擦凈密封圈，并檢查密封圈是否完全就位，防止出現(xiàn)脫落或出槽影響抽空。

f. 蓋好過濾器蓋并用扳手上好過濾器蓋螺絲。

F. 真空泵油檢查更換

a. 確認(rèn)關(guān)閉主泵球閥和真空泵，在放油單晶爐上掛檢修牌，將廢油桶置于真空泵放油口下方，打開上下腔放油開關(guān)，放完油后關(guān)閉上下腔放油閥，廢油倒入指定油桶。

b. 清洗真空泵（每5爐清洗一次），用扳手打開真空泵側(cè)蓋，置于適當(dāng)位置，用毛巾徹底清理真空泵腔、側(cè)蓋和下腔濾油網(wǎng)的油污，清洗完畢后，安裝好濾網(wǎng)，安裝好側(cè)蓋。側(cè)蓋在打開、安裝時(shí)小心操作，防止損壞側(cè)蓋及油封而漏油。泵腔內(nèi)禁止遺留紙屑或其它異物，不然會(huì)造成油路的堵塞導(dǎo)致真空泵卡死。清理真空泵的廢棄物放入指定垃圾桶。

c. 打開真空泵注油口，將真空泵油注入真空泵注油孔，觀察真空泵油位至油位觀察窗1/2位置，停止注油，打開泵側(cè)的油路管道閥門向下腔放油，關(guān)閉油口。

d. 啟動(dòng)真空泵工作5min后關(guān)閉泵側(cè)的油路管道閥門，察看油位是否處于油位觀察窗1/3----1/2位置，關(guān)閉真空泵，在放油單晶爐上移去檢修牌。若低于下限重復(fù)c、d操作。

G. 石墨件清洗

a. 石墨件清洗

1) 石墨件必須在指定的清洗室進(jìn)行清洗，準(zhǔn)備好清洗用品(吸塵刷、紙巾、吸塵管、研磨布、除硅粒的專有工具、放石墨件的潔凈小車等)戴好手套、防塵口罩。清洗好清洗臺及周圍環(huán)境。

2) 依次用吸塵刷清洗各類石墨件直至確認(rèn)無污物，溝槽及接口等吸附揮發(fā)物較多的部位要用研磨布認(rèn)真打磨后再吸塵清洗。

3) 清洗時(shí)注意檢查各石墨件是否有損壞及粘硅，有損壞及粘硅要及時(shí)更換和處理。

4) 操作時(shí)要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞。

5) 清理完畢的石墨件放到事先準(zhǔn)備好的潔凈不銹鋼小車上。禁止疊加，移動(dòng)不銹鋼小車要穩(wěn)當(dāng)。

6) 清洗后垃圾放入垃圾指定處，清洗好清洗臺及周圍環(huán)境。

b. 石墨大件爐內(nèi)清洗（適用于每爐小清，石墨大件未取出時(shí)在爐內(nèi)清洗）。

1) 用吸塵刷吸凈爐筒、保溫罩和加熱器上沿拆爐時(shí)掉落的殘?jiān)?

2) 用吸塵刷仔細(xì)用力清洗保溫罩，加熱器所能觸及到的部位。

3) 取出加熱器螺絲蓋，檢查電極螺絲是否松動(dòng)、膠落或粘硅。有松動(dòng)須擰緊，有膠落或粘硅須更換。再蓋好加熱器螺絲蓋。

4) 如果在拆爐時(shí)不小心引起熱場移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)一定要檢查熱場是否對稱，測溫孔要重新校正。如果側(cè)溫孔有偏離會(huì)影響測光信號，導(dǎo)致歐陸表數(shù)值過小，無法對爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)控制無法成晶。

5) 用吸塵刷吸凈爐底上壓片、爐底波紋管、排氣孔內(nèi)的附塵及殘?jiān)?

6) 用帶有酒精的紙巾清理爐壁上部。

H. 單晶爐室清洗

a. 付室的清洗安裝

1) 準(zhǔn)備好清洗棒、紙巾、酒精。

2) 在清洗棒上纏上沾有酒精的紙巾，清洗付室內(nèi)部至上部，直至確認(rèn)無污物。

3) 快速降下籽晶夾頭，用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗重錘及鉬夾頭。需要時(shí)要將重錘摘下用研磨布認(rèn)真打磨，并清洗干凈。摘下重錘時(shí)要慎重作業(yè)，防止鋼絲繩上彈造成鋼絲繩出槽。清洗鋼絲繩時(shí)要檢查其接頭部位是否老化或損壞，若有應(yīng)截去一截鋼絲繩，防止在拉晶過程中單晶掉下。清洗好上升重錘到一定位置，升重錘時(shí)，不要使重錘晃動(dòng)，防止重錘掛住付室下沿，拉斷鋼絲繩。

b. 小付室的清洗

1) 打開付室小門，用沾有酒精的紙巾擦洗小付室內(nèi)的附著物。揮發(fā)物附著較多時(shí)，先用吸塵刷處理。

2) 用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗付室抽氣口、其它小孔及翻板閥四周及轉(zhuǎn)軸。翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用紙巾卷成利于操作的形狀再認(rèn)真擦洗。

3) 清洗過的小付室將翻板閥蓋住閥口，并關(guān)閉付室小門。

4) 用潔凈的紙巾將小付室上口蓋住。

c. 爐蓋清洗

1) 先用紙巾擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。

2) 小孔部位、觀察窗部位、伊爾根部位、閥口部位等各處的接口及焊接口等不易清洗的部位要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗，直至確認(rèn)無污物。

3) 硅粉強(qiáng)力附著時(shí)或爐蓋局部發(fā)黑、發(fā)白時(shí)要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐蓋整個(gè)內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無污物。

4) 觀察窗、伊爾根窗口要認(rèn)真清理，所有小孔的位置要把紙巾卷成卷以便伸進(jìn)氣孔內(nèi)部更容易清理直至沒有污物。

d. 爐筒清洗

1) 先用紙巾擦洗內(nèi)壁(氧化物過多先用吸塵刷清理)。

2) 取光孔部位要用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗，直至確認(rèn)無污染。

3) 硅粉強(qiáng)力附著時(shí)或爐筒局部發(fā)黑、發(fā)白時(shí)要用研磨布認(rèn)真研磨直至爐筒整個(gè)內(nèi)壁出現(xiàn)光亮無污物。

e. 抽氣管道清洗。

1) 用扳手打開抽氣管道上的封蓋螺絲，取下封蓋和密封圈。

2) 用一頭纏鋼絲球的長棒伸入管道抽動(dòng)，另一頭用吸塵刷吸除抽氣管道內(nèi)的揮發(fā)物。

3) 用沾有酒精的紙巾認(rèn)真擦洗封蓋和密封圈，再安裝好。

I. 石墨件安裝

a. 清洗后的石墨大件安裝（一般5爐做一次）。

1) 清理完畢的石墨大件不銹鋼小車移到單晶爐旁邊，移動(dòng)過程要穩(wěn)當(dāng)。

2) 依次裝好石墨電極、爐底碳?xì)?、爐底壓片、下保溫罩，兩側(cè)排氣管、爐底上壓片下小石墨碳?xì)郑瑺t底上壓片、堝桿護(hù)套、電極護(hù)套、石英電極環(huán)。安裝電極時(shí)檢查接觸面是否平整，上下接觸面要放一層石墨紙，防止熱場打火。

3) 將清洗后的加熱器裝好，擰上石墨螺絲，要擰緊，不然要引起熱場打火，并蓋上石墨螺絲蓋。

4) 將清洗后的中保溫罩裝好，卡口接到位。并校正與加熱器的間距，要均勻一致，否則需調(diào)整好。

5) 爐筒復(fù)位，打開液壓泵，升起爐筒至上限，用沾有酒精的紙巾擦洗下爐筒上部的結(jié)合部和爐筒下部的結(jié)合部，同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)爐筒到適當(dāng)位置。

6) 按爐筒降，爐筒降到位后，校對測溫孔，防止測光信號過小無法溫度自控。

7) 安裝熱電錐，將其及對應(yīng)的密封及玻璃按原次序裝好。

8) 將清洗后的上保溫罩裝好，并卡口接到位。

b. 清洗后石墨小件安裝。

1) 用專用工具裝好堝桿。一定要擰緊堝桿螺絲，防止因松動(dòng)造成液面晃動(dòng)

2) 依次裝好堝底、三瓣堝。安裝時(shí)要確認(rèn)堝桿、堝底、三瓣堝是否吻合，要認(rèn)真、細(xì)心，防止碰壞保溫材料或加熱器。

3) 裝好后要打開堝轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)一下，以檢驗(yàn)三瓣堝與加熱器間距上否一致。若不一致，需及時(shí)調(diào)整。