硅片回收的準(zhǔn)備過(guò)程從硅單晶棒開(kāi)始,到清潔的拋光片結(jié)束,以能夠在絕好的環(huán)境中使用。期間,從一單晶硅棒到加工成數(shù)片能滿足特殊要求的硅片要經(jīng)過(guò)很多流程和清洗步驟。除了有許多工藝步驟之外,整個(gè)過(guò)程幾乎都要在無(wú)塵的環(huán)境中進(jìn)行。硅片的加工從一相對(duì)較臟的環(huán)境開(kāi)始,終在10級(jí)凈空房?jī)?nèi)完成。硅片回收加工過(guò)程包括許多步驟。所有的步驟概括為三個(gè)主要種類:能修正物理性能如尺寸、形狀、平整度、或一些體材料的性能;能減少不期望的表面損傷的數(shù)量。