防靜電板優(yōu)良的防靜電功能可持續(xù)的時(shí)間一般在3-5年以上，據(jù)國外生產(chǎn)廠家介紹，國外的半導(dǎo)體工廠一般3-5年會(huì)更換防靜電板，防靜電板的表面電阻在3-5年后可能會(huì)逐步變化至7-9次方歐姆或更高一點(diǎn)；所以國外的半導(dǎo)體工廠為了保險(xiǎn)起見，一般3-5年會(huì)更換防靜電板。
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