凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。亂流潔凈室
亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。
氣壓規(guī)定
對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
國外潔凈室的強(qiáng)度要求,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是.
人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),500x也是允許的。對(duì)于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—501x),
用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。
防靜電
潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。
所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)對(duì)于以微生物為控制對(duì)象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)無菌動(dòng)物飼養(yǎng)室等)其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因?yàn)槌睗窈退质俏⑸镒躺头敝车臈l件,因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。