YD系列單晶硅智能變送器是本公司引進國外先進技術,進口國外單晶硅傳感器,自行研制開發(fā)的帶HART通訊協(xié)議的智能壓力變送器,是新一代高性能智能差壓、壓力變送器。
傳感器模塊采用全焊接技術,內部擁有一個整體化的過載膜片,一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償?shù)膮⒖贾?。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內的硅芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化,從而導致檢測系統(tǒng)輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。
單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。
單晶硅壓力變送器當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。
主要參數(shù):
測量范圍: 0-1kPa-10MPa
輸出信號:4-20mA,4-20mA+HART
參考精度:±0.2%URL
穩(wěn)定性:±0.2%URL/ 年
膜片:SS316L,哈氏合金 C
介質溫度:-40~120℃
防護等級:IP67
過程連接:M20*1.5(M),G1/2(M),G1/4(M),1/2-14NPT(M) 等
測量介質:液體、氣體、蒸汽
認證: CE、隔爆