主要特點：

A 采用先進(jìn)的電流型開關(guān)電源技術(shù)，減小輸出儲能元件，

同時提高了抑制打火及重啟速度，應(yīng)用在鋁靶鍍膜優(yōu)勢更為明顯。

B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統(tǒng)的恒流模式，

更能保證鍍膜工藝的重復(fù)性。

C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現(xiàn)象，

充分滿足磁控濺射工藝過程的連續(xù)性。

D 主要參數(shù)可大范圍調(diào)節(jié)

E 可選擇手動控制/模擬量接口控制，可選配RS485通訊接口。

采用先進(jìn)的PWM脈寬調(diào)制技術(shù)，使用進(jìn)口IGBT或MOSFET作為功率開關(guān)器件，

體積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠，生產(chǎn)工藝嚴(yán)格完善。

該系列產(chǎn)品采用先進(jìn)的DSP控制系統(tǒng)，充分保證鍍膜工藝的重復(fù)性，

并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能，

具有的負(fù)載匹配能力，既保證了靶面清洗工藝的穩(wěn)定性，又提高了靶面清洗速度；

主要參數(shù)均可大范圍連續(xù)調(diào)節(jié)；

方便維護(hù)，可靠性高；

PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現(xiàn)自動化控制。

MSB系列雙極脈沖磁控濺射電源（中頻電源）

主要用途：

雙極脈沖磁控濺射電源用于中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料，特別適合于反應(yīng)磁控濺射。能增加離

化率，減少電荷積累引起的異常放電，預(yù)防靶表面中毒現(xiàn)象。