拋光液作為金屬加工液檢測種類的重要一員,對金屬表面的打磨處理,滿足平坦化需求起著關(guān)鍵性的作用。拋光液適用于鉛錫合金, 銅, 鋅合金, 不銹鋼, 鋁合金, 鐵等金屬零部件的拋光, 光亮度可達 12 級, 可取代多種進口拋光劑和拋光粉。
氧化硅拋光液 氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。 廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學器件、藍寶石片等的拋光加工。
拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進行氧化還原的動力學過程。這是化學反應(yīng)的主體。 拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來的動力學過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。
化學拋光是一種將金相樣品浸入調(diào)配的化學拋光液中,借化學藥劑的溶解作用而得到的拋光表面的拋光方法?;瘜W拋光是常見的金相樣品拋光方法之一,這種方法操作簡便,不需任何儀器設(shè)備,只需要選擇適當?shù)幕瘜W拋光液和掌握的拋光規(guī)范,就能快速得到較理想的光潔而無變形層的表面。