封釉拋光液批發(fā),質(zhì)量好,價(jià)格惠。在拋光過(guò)程中,使用拋光液能有效地避免因粒子或粉塵摩擦產(chǎn)生劃痕,有效降低次品率!拋光液獨(dú)特的化學(xué)成分相比傳統(tǒng)的拋光粉更具有優(yōu)勢(shì),促進(jìn)拋光打磨精度,達(dá)到更好的拋光效果。
依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學(xué)、半導(dǎo)體化學(xué)基礎(chǔ)理論等,對(duì)硅單晶片化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)機(jī)理、動(dòng)力學(xué)控制過(guò)程和影響因素研究標(biāo)明,化學(xué)機(jī)械拋光是一個(gè)復(fù)雜的多相反應(yīng),它存在著兩個(gè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程:
(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。
(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單晶重新裸露出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過(guò)程。
硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過(guò)程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過(guò)程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。
拋光液作為金屬加工液檢測(cè)種類的重要一員,對(duì)金屬表面的打磨處理,滿足平坦化需求起著關(guān)鍵性的作用。拋光液一般有平面研磨拋光液、不銹鋼點(diǎn)解拋光液、精拋液、鋁合金拋光液、那么拋光液、銅材拋光液、硅片拋光液、車用拋光液、化學(xué)拋光液等等產(chǎn)品。