拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液(即CMP拋光液)、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類。
氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。
廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石片等的拋光加工。
1、 增加生產(chǎn)量, 操作人員不再需要中斷拋光工作,可以自動的控制拋光液的噴涂。
2、 節(jié)省操作時間,提高產(chǎn)能。
3、 節(jié)省清洗時間, 拋光液是水性的配方, 拋光后工程的清洗工序更容易,可以節(jié)省的清洗時間。
4、 拋光輪壽命增加, 噴涂液體研磨劑對研磨輪之輪緣表面溫度有冷卻作用。
5、 大大減低 研磨輪的損耗, 從而增加研磨輪的壽命。
6、 增加產(chǎn)品的穩(wěn)定性能, 避免了人手操作的不確定性。
拋光時,高速旋轉(zhuǎn)的拋光輪(圓周速度在20米/秒以上)壓向工件,使磨料對工件表面產(chǎn)生滾壓和微量切削,從而獲得光亮的加工表面,表面粗糙度一般可達(dá)Ra0.63~0.01微米;當(dāng)采用非油脂性的消光拋光劑時,可對光亮表面消光以改善外觀。 大批量生產(chǎn)軸承鋼球時,常采用滾筒拋光的方法。