輪廓儀是一款檢測物體輪廓要素的儀器,該儀器有兩種類型,接觸式與非接觸式。
接觸式輪廓儀
接觸式輪廓儀是通過將待測物體的表面滑過測針以獲取表面輪廓參數(shù),例如角度處理(坐標(biāo)角,Y坐標(biāo)的角度,兩線之間的角度),圓的處理(圓弧半徑,圓心到圓心距離,圓心到直線的距離,交點(diǎn)到圓心的距離,直線到切點(diǎn)的距離),點(diǎn)線處理(兩條線的交點(diǎn),交點(diǎn)到直線的距離,交點(diǎn)和交點(diǎn)之間的距離,交點(diǎn)到圓心的距離),直線度、形狀參數(shù)、槽深、槽寬、對數(shù)曲線、凹槽深度、凹槽寬度、凹槽曲率半徑、凹槽余量、凹槽中心距離、輪廓、水平距離等。
接觸式輪廓儀又可以分為輪廓儀和粗糙度輪廓測量一體機(jī),前者只能測量輪廓參數(shù),后者既可以測量輪廓參數(shù)又可以測量粗糙度參數(shù),代表型號為中圖儀器SJ5718和SJ5730。
接觸式輪廓儀廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電機(jī)、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光學(xué)元件等行業(yè),可測軸承、滾針、滾子、電機(jī)軸、曲軸、圓柱銷、活塞銷、活塞、氣門、閥門、齒輪、油泵油嘴、液壓件、氣動件、紡機(jī)配件等
非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是一種基于白光干涉原理的高精度微形態(tài)測量儀器。它可以測量從超光滑到粗糙,低反射率到高反射率的各種表面。從納米級到微米級的工件粗糙度,平面度,微幾何輪廓,曲率等,基于ISO / ASME / EUR / GBT四個國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn),共有300多種2D, 3D參數(shù)作為評估標(biāo)準(zhǔn)。
非接觸式輪廓儀代表型號為中圖儀器SuperView W1系列。
SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中,可測硅晶片、手機(jī)及屏、藍(lán)寶石屏、薄膜、光學(xué)鏡片、新材料等等。