回收硅片的清潔,特別是硅廢料的清潔方法,其從廢硅中去除表面污垢,一般包括以下步驟。我希望你能認(rèn)真地看一看。
1。硅材料浸在堿溶液中。
2。當(dāng)堿性溶液中的硅材料上浮時(shí),回收硅片被撈出,用純水沖洗并排出。
3。浸泡在第二種堿溶液中。
4。當(dāng)堿性溶液中的硅材料上浮時(shí),硅材料被撈出,用純水沖洗并排出。
5。浸泡在鹽酸和過氧化氫的混合物中,用壓縮空氣吹泡泡。
6。將浸泡在中和液中的硅材料放入純水中浸泡,打撈干燥。
雜質(zhì)線痕:由多晶硅錠內(nèi)雜質(zhì)引起,在切片過程中無法完全去除,導(dǎo)致硅片上產(chǎn)生相關(guān)線痕。硅錠雜質(zhì)除會(huì)產(chǎn)生雜質(zhì)線痕外,還會(huì)導(dǎo)致切片過程中出現(xiàn)"切不動(dòng)"現(xiàn)象。如未及時(shí)發(fā)現(xiàn)處理,可導(dǎo)致斷線而產(chǎn)生更大的損失。
密布線痕(密集型線痕):由于砂漿的磨削能力不夠或者切片機(jī)砂漿回路系統(tǒng)問題,造成硅片上出現(xiàn)密集線痕區(qū)域。
表現(xiàn)形式:(1)硅片整面密集線痕。(2)硅片出線口端半片面積密集線痕。
(3)硅片部分區(qū)域貫穿硅片密集線痕。(4)部分不規(guī)則區(qū)域密集線痕。
(5)硅塊頭部區(qū)域密布線痕。
改善方法:(1)硅片整面密集線痕,原因?yàn)樯皾{本身切割能力嚴(yán)重不足引起,包括SIC顆粒度太小、砂漿攪拌時(shí)間不夠、砂漿更換量不夠等,可針對(duì)性解決。
(2)硅片出線口端半片面積密集線痕。原因?yàn)樯皾{切割能力不夠,回收砂漿易出現(xiàn)此類情況,通過改善回收工藝解決。
(3)硅片部分區(qū)域貫穿硅片密集線痕。原因?yàn)榍衅瑱C(jī)臺(tái)內(nèi)砂漿循環(huán)系統(tǒng)問題,如砂漿噴嘴堵塞。在清洗時(shí)用美工刀將噴嘴內(nèi)贓物劃向兩邊。
(4)部分不規(guī)則區(qū)域密集線痕。原因?yàn)槎嗑Ч桢V硬度不均勻,部分區(qū)域硬度過高。改善鑄錠工藝解決此問題。
(5)硅塊頭部區(qū)域密布線痕。切片機(jī)內(nèi)引流桿問題。
隨著我們生產(chǎn)能的增加,我們對(duì)硅片回收價(jià)格也有著自己的理解和看法。如果說價(jià)格比較低的話那自然對(duì)我們的回收質(zhì)量就不能很好的保證了。但是我們?cè)谏a(chǎn)的時(shí)候也注意避免浪費(fèi)的情況出現(xiàn)。有時(shí)候我們還需要對(duì)硅片進(jìn)行浸泡,這樣它的使用效果可能會(huì)比較好。另外如果說我們的作業(yè)哪里出現(xiàn)了什么問題也應(yīng)該要及時(shí)的進(jìn)行處理和維護(hù)這是不能少的,但是總體的大概結(jié)構(gòu)是不會(huì)發(fā)生改變。