密布線痕(密集型線痕):由于砂漿的磨削能力不夠或者切片機(jī)砂漿回路系統(tǒng)問題,造成硅片上出現(xiàn)密集線痕區(qū)域。
表現(xiàn)形式:(1)硅片整面密集線痕。(2)硅片出線口端半片面積密集線痕。
(3)硅片部分區(qū)域貫穿硅片密集線痕。(4)部分不規(guī)則區(qū)域密集線痕。
(5)硅塊頭部區(qū)域密布線痕。
改善方法:(1)硅片整面密集線痕,原因?yàn)樯皾{本身切割能力嚴(yán)重不足引起,包括SIC顆粒度太小、砂漿攪拌時(shí)間不夠、砂漿更換量不夠等,可針對性解決。
(2)硅片出線口端半片面積密集線痕。原因?yàn)樯皾{切割能力不夠,回收砂漿易出現(xiàn)此類情況,通過改善回收工藝解決。
(3)硅片部分區(qū)域貫穿硅片密集線痕。原因?yàn)榍衅瑱C(jī)臺內(nèi)砂漿循環(huán)系統(tǒng)問題,如砂漿噴嘴堵塞。在清洗時(shí)用美工刀將噴嘴內(nèi)贓物劃向兩邊。
(4)部分不規(guī)則區(qū)域密集線痕。原因?yàn)槎嗑Ч桢V硬度不均勻,部分區(qū)域硬度過高。改善鑄錠工藝解決此問題。
(5)硅塊頭部區(qū)域密布線痕。切片機(jī)內(nèi)引流桿問題。
硅片制成的芯片是有名的神算子,有著驚人的運(yùn)算才能。無論多么雜亂的數(shù)學(xué)疑問、物理疑問和工程疑問,也無論核算的工作量有多大,工作人員只需經(jīng)過核算機(jī)鍵盤把疑問通知它,并下達(dá)解題的思路和指令,核算機(jī)就能在極短的時(shí)間內(nèi)把答案通知你。
硅單晶制備,需要實(shí)現(xiàn)從多晶到單晶的轉(zhuǎn)變,即原子由液相的隨機(jī)排列直接轉(zhuǎn)變?yōu)橛行蜿嚵?,由不對稱結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)閷ΨQ結(jié)構(gòu)。這種轉(zhuǎn)變不是整體效應(yīng),而是通過固液界面的移動(dòng)逐漸完成的,為實(shí)現(xiàn)上述轉(zhuǎn)化過程,多晶硅就要經(jīng)過固態(tài)硅到熔融態(tài)硅,再到固態(tài)晶體硅的轉(zhuǎn)變,這就是從熔融硅中生長單晶硅所要遵循的途徑。目前應(yīng)用廣泛的有兩種,坩堝直拉法和無坩堝懸浮區(qū)熔法,這兩種方法得到的單晶硅分別稱為CZ硅和FZ硅。
太陽能電池用單晶硅片,一般有兩種形狀,一種是圓形,另一種是方形。以圓形硅片為例,其加工工藝流程為:單晶爐取出單晶-檢查重量、量直徑和其他表觀特征-切割分段-測試-清洗-外圓研磨-檢測分檔-切片-倒角-清洗-磨片-清洗-檢驗(yàn)-測厚分類-化學(xué)腐蝕-測厚檢驗(yàn)-拋光-清洗-再拋光-清洗-電性能測-檢驗(yàn)-包裝-儲存。