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2022-06-14 04:14:01  414次瀏覽 次瀏覽
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無論硅片的厚薄,晶體硅光伏電池制造商都對硅片的質量提出了的要求。硅片不能有表面損傷(細微裂紋、線鋸印記),形貌缺陷(彎曲、凹凸、厚薄不均)要小化,對額外后端處理如拋光等的要求也要降到。

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硅單晶制備,需要實現從多晶到單晶的轉變,即原子由液相的隨機排列直接轉變?yōu)橛行蜿嚵校刹粚ΨQ結構轉變?yōu)閷ΨQ結構。這種轉變不是整體效應,而是通過固液界面的移動逐漸完成的,為實現上述轉化過程,多晶硅就要經過固態(tài)硅到熔融態(tài)硅,再到固態(tài)晶體硅的轉變,這就是從熔融硅中生長單晶硅所要遵循的途徑。目前應用廣泛的有兩種,坩堝直拉法和無坩堝懸浮區(qū)熔法,這兩種方法得到的單晶硅分別稱為CZ硅和FZ硅。

多晶硅和單晶硅的差異主要在物理性質方面,例如在力學性質、電學性質等方面,多晶硅不如單晶硅。多晶硅可作為控制單晶硅的原料,也是太陽能電池和光伏發(fā)電的基礎材料。單晶硅可算的是世界上純凈的物質了,一般的半導體器件要求硅的純度在6個9(6N)以上。大規(guī)模集成電路的要求更高,硅的純度必須達到9個9(9N)。目前,人們已經制造出純度為12個9(12N)的單晶硅。

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