電子無塵車間投資越大，質(zhì)量水平越高，至于電子產(chǎn)品參與的人絡(luò)繹不絕。幾年后，電子無塵車間內(nèi)的電子產(chǎn)品尺寸可達(dá)到0.5微米左右，整體電路存儲可達(dá)到更高的水平，因此，目前很多潔凈室的部件都用在了微電子上，建設(shè)和運(yùn)營的資金都非常高。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。

無塵車間空氣凈化系統(tǒng)分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規(guī)，潔凈度主要由單位時間換氣次數(shù)決定。因此，在確定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)之前，必須認(rèn)真考慮無塵車間的工作性質(zhì)和生產(chǎn)要求。

水磨石無塵車間地面，施工質(zhì)量會失控。金屬隔珊通風(fēng)地面，用于垂直單項流無塵車間作為回風(fēng)隔柵使用，一般采用多孔板。粘貼性無塵車間地面，有聚氯乙烯軟板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的彈性，耐磨不起塵，易清洗，耐腐蝕，防靜電，但整體性差，接縫和粘貼施工質(zhì)量失控后，影響使用效果，適用于電子、精密制造的一般無塵車間。