無塵車間工人在防火墻兩端2m范圍內(nèi)穿管、穿管、穿隔熱層。根據(jù)上述需要,在潔凈室工程中,經(jīng)常采用拍賣保溫板和復(fù)合硅酸鹽保溫板(防潮層和外保護材料以及與保溫材料相匹配的液體泥漿),而阻燃自熄聚苯乙烯保溫板不符合消防要求,限制了其應(yīng)用。這里重要的是,當輸送的空氣溫度低于環(huán)境溫度時,由于隔熱結(jié)構(gòu)內(nèi)外壁之間的溫差而產(chǎn)生水蒸氣的分壓差。由于分壓差的影響,管外空氣中的水蒸氣隨熱流滲入保溫材料,導(dǎo)致保溫結(jié)構(gòu)內(nèi)凝結(jié),保溫材料的保溫性能降低,必須在保溫層外設(shè)置防潮層。當氣溫高于環(huán)境溫度時,保溫結(jié)構(gòu)一般不設(shè)置防潮層。保溫材料采用閉孔結(jié)構(gòu),防止水汽滲入。如防水層為液體泥漿,復(fù)合硅酸鹽保溫板施工后無接縫。防潮效果很好,但是價格很高。
在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。
無塵車間的設(shè)計并不像想象的那么簡單,它是一個大工程,需要消耗大量的能源,尤其是空調(diào)。因此,在設(shè)計和施工中,必須注意節(jié)能措施、系統(tǒng)和區(qū)域劃分、風(fēng)量計算、溫度和相對濕度的確定。在該區(qū)域,為保證無塵車間的全過程調(diào)節(jié),空調(diào)箱應(yīng)根據(jù)氣候條件選擇自動控制裝置。另外,空調(diào)房設(shè)計在無塵車間內(nèi)。這樣既節(jié)約了能源,又使氣流組織更加合理。
在工作中,工作人員應(yīng)當盡量避免或者減少接觸設(shè)備的產(chǎn)品的次數(shù),如果可以,還是采取全自動的生產(chǎn)流程。如果一定要接觸的話,應(yīng)該先洗干凈手,并且戴上手套,防止對設(shè)備和產(chǎn)品造成污染。