在整個(gè)集成電子無(wú)塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說(shuō)是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無(wú)塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無(wú)塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無(wú)塵車間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o(wú)塵車間的廢品問(wèn)題之一。

無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)并不像想象的那么簡(jiǎn)單，它是一個(gè)大工程，需要消耗大量的能源，尤其是空調(diào)。因此，在設(shè)計(jì)和施工中，必須注意節(jié)能措施、系統(tǒng)和區(qū)域劃分、風(fēng)量計(jì)算、溫度和相對(duì)濕度的確定。在該區(qū)域，為保證無(wú)塵車間的全過(guò)程調(diào)節(jié)，空調(diào)箱應(yīng)根據(jù)氣候條件選擇自動(dòng)控制裝置。另外，空調(diào)房設(shè)計(jì)在無(wú)塵車間內(nèi)。這樣既節(jié)約了能源，又使氣流組織更加合理。

在進(jìn)入無(wú)塵車間的時(shí)候，應(yīng)該要先進(jìn)行風(fēng)淋。在工作的時(shí)候，包括胡須在內(nèi)的所有毛發(fā)，都應(yīng)該使用毛發(fā)護(hù)具來(lái)全部地遮蓋住。以免掉落的毛發(fā)來(lái)對(duì)產(chǎn)品的生產(chǎn)造成影響。 在高度潔凈區(qū)域工作的人員，應(yīng)該保證健康狀況良好。避免將病毒帶入無(wú)塵車間內(nèi)，對(duì)無(wú)塵車間的環(huán)境造成破壞。

對(duì)于要求比較高的無(wú)塵車間，還需要做無(wú)塵車間地面的防靜電處理。通過(guò)使用防靜電水磨石做面層，再通過(guò)鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電效果。如果無(wú)塵車間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電功能。一般來(lái)說(shuō)，電子無(wú)塵車間對(duì)防靜電的要求會(huì)比較高。