在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦愃剖请娮訜o塵車間的廢品問題之一。

無塵車間空氣凈化系統(tǒng)分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規(guī)，潔凈度主要由單位時間換氣次數(shù)決定。因此，在確定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)之前，必須認(rèn)真考慮無塵車間的工作性質(zhì)和生產(chǎn)要求。

無塵車間的設(shè)計并不像想象的那么簡單，它是一個大工程，需要消耗大量的能源，尤其是空調(diào)。因此，在設(shè)計和施工中，必須注意節(jié)能措施、系統(tǒng)和區(qū)域劃分、風(fēng)量計算、溫度和相對濕度的確定。在該區(qū)域，為保證無塵車間的全過程調(diào)節(jié)，空調(diào)箱應(yīng)根據(jù)氣候條件選擇自動控制裝置。另外，空調(diào)房設(shè)計在無塵車間內(nèi)。這樣既節(jié)約了能源，又使氣流組織更加合理。

水磨石無塵車間地面，施工質(zhì)量會失控。金屬隔珊通風(fēng)地面，用于垂直單項流無塵車間作為回風(fēng)隔柵使用，一般采用多孔板。粘貼性無塵車間地面，有聚氯乙烯軟板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的彈性，耐磨不起塵，易清洗，耐腐蝕，防靜電，但整體性差，接縫和粘貼施工質(zhì)量失控后，影響使用效果，適用于電子、精密制造的一般無塵車間。