無塵車間工人在防火墻兩端2m范圍內(nèi)穿管、穿管、穿隔熱層。根據(jù)上述需要,在潔凈室工程中,經(jīng)常采用拍賣保溫板和復合硅酸鹽保溫板(防潮層和外保護材料以及與保溫材料相匹配的液體泥漿),而阻燃自熄聚苯乙烯保溫板不符合消防要求,限制了其應(yīng)用。這里重要的是,當輸送的空氣溫度低于環(huán)境溫度時,由于隔熱結(jié)構(gòu)內(nèi)外壁之間的溫差而產(chǎn)生水蒸氣的分壓差。由于分壓差的影響,管外空氣中的水蒸氣隨熱流滲入保溫材料,導致保溫結(jié)構(gòu)內(nèi)凝結(jié),保溫材料的保溫性能降低,必須在保溫層外設(shè)置防潮層。當氣溫高于環(huán)境溫度時,保溫結(jié)構(gòu)一般不設(shè)置防潮層。保溫材料采用閉孔結(jié)構(gòu),防止水汽滲入。如防水層為液體泥漿,復合硅酸鹽保溫板施工后無接縫。防潮效果很好,但是價格很高。
在無塵車間裝修過程中,管道是工程的一部分。無塵車間工程所采用的保溫材料應(yīng)符合《防火規(guī)范》的要求,滿足潔凈室的需要。也就是說,無塵車間的管道保溫材料和膠粘劑應(yīng)選用不燃材料或阻燃材料,不應(yīng)選用易揚塵的材料(如玻璃纖維、短纖維礦棉等)。在下列情況下,必須使用不燃絕緣材料。
在整個集成電子無塵車間中,電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進,芯片尺寸越小。然而,電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%~2%,在電子無塵車間中會成為廢品,因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。
無塵車間空氣凈化系統(tǒng)分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規(guī),潔凈度主要由單位時間換氣次數(shù)決定。因此,在確定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)之前,必須認真考慮無塵車間的工作性質(zhì)和生產(chǎn)要求。