超精加工是采用裝在振動頭上的細(xì)粒度油石對精加工表面進行精整加工。砂帶磨削是采用高速運轉(zhuǎn)的環(huán)形砂帶加工工件表面的磨削。鏡面磨削是達(dá)到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如鏡面，可以清晰成像。精密加工在制造業(yè)中處于十分重要的地位，常用于精密絲杠、精密齒輪、精密蝸輪、精密導(dǎo)軌和精密軸承等關(guān)鍵零件的加工。

精密加工工藝是指加工精度和表面光潔程度高于各相應(yīng)加工方法精加工的各種加工工藝。精密加工工藝包括精密切削加工（如金剛鏜、精密車削、寬刃精刨等）和高光潔高精度磨削。精密加工的加工精度一般在10~0.1μm，公差等級在IT5以上，表面粗糙度Ra在0.1μm以下。

精密加工工藝是指加工精度以及表面光潔程度高于各相應(yīng)加工方法精加工的各種加工工藝。精密切削加工是依靠精度高、剛性好的機床和精細(xì)刃磨的刀具用很高或極低的切削速度、很小的切深和進給量在工件表面切去極薄一層金屬的過程，顯然，這個過程能顯著提高零件的加工精度。

超精密加工對工件材質(zhì)、加工設(shè)備、工具、測量和環(huán)境等條件都有特殊的要求，需要綜合應(yīng)用精密機械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)、計算機控制以及其他先進技術(shù)。工件材質(zhì)必須極為細(xì)致均勻，并經(jīng)適當(dāng)處理以消除內(nèi)部殘余應(yīng)力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。加工設(shè)備要有的運動精度，導(dǎo)軌直線性和主軸回轉(zhuǎn)精度要達(dá)到0.1微米級,微量進給和定位精度要達(dá)到0.01微米級。