常用的加工方法有金剛石車削、金剛石鏜削、珩磨、研磨、超精加工、砂帶磨削和鏡面磨削等。金剛石車削和金剛石鏜削都是利用聚晶金剛石刀具進行切削，珩磨是采用鑲嵌在珩磨頭上的油石（又稱珩磨條）主要對孔進行精整加工。研磨是利用涂敷或壓嵌在研具上的磨料顆粒，通過研具與工件在一定壓力下的相對運動對加工表面進行的精整加工。

高光潔高精度磨削同樣要求機床有很高的精度和剛性，磨削過程是用經精細修整的砂輪，使每個磨粒上產生多個等高的微切削刃，以很小的磨削深度，在適當?shù)哪ハ鲏毫ο?，從工件表面切下很微細的切屑加上微切削刃呈微飩狀態(tài)時的滑擦，擠壓、撫平作用和多次無進給光磨階段的摩擦拋光作用，從而獲得很高的加工精度和物理機械性能良好的高光潔表面。綜上所述，采用精密加工工藝可提高工件的加工精度和表面質量。

對環(huán)境條件要求嚴格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。加工系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差和隨機誤差都應控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)和計算機控制等各種先進技術獲得的。

這些方法的特點是對表面層物質去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。