高壓脈沖電源是高壓電源的一種，是在高壓直流電源的基礎(chǔ)上增加了開關(guān)電路，從而輸出脈沖幅度可調(diào)、脈沖寬度可調(diào)、脈沖頻率可調(diào)、脈沖輸出個數(shù)可設(shè)定的一種高壓電源。高壓脈沖電源的技術(shù)參數(shù)除了脈沖寬度、重復頻率，單次放電能量也是非常重要的參數(shù)。對于一些特殊場合，高壓脈沖電源的前后沿要求陡直，達到納秒級，就需要特殊的開關(guān)器件和有效的控制儲能電路。

高壓脈沖電源特點是輸出脈沖信號的上升沿下降沿時間短，重復頻率高，上升沿和下降沿時間可做到小于50納秒, 可以通過多圈電位器來調(diào)節(jié)電源輸出脈沖的幅值、頻率、脈寬的大小，面板帶高精度數(shù)字表顯示輸出電壓，并且還可遠程控制輸出脈沖電壓的幅度、頻率及脈寬。高壓輸出放電報警、互鎖等功能。

高壓脈沖電源的種類有很多，按高壓脈沖電源的實現(xiàn)的方法其可分為機械開關(guān)式，高壓固態(tài)開關(guān)式，和Marx網(wǎng)絡(luò)(Marx發(fā)生器)等。其中高壓固態(tài)開關(guān)式，和Marx網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)納秒級的窄脈沖和很高的脈沖頻率。

高壓脈沖電源可廣泛用于空氣凈化，放電等離子燒結(jié)、高壓充電、納米制備脈沖電源納米制備脈沖電源高壓放電、制作納米材料、處理染料廢水等多種場合。

一般高壓脈沖電源可以提供超過兆瓦級(MW)脈沖功率電源，其基于的半導體開關(guān)技術(shù)，脈沖寬度主要為毫秒級（ms）到納秒級（ns）的單脈沖與重復脈沖。相比與傳統(tǒng)的脈沖功率晶體管，以及SMCT固態(tài)開關(guān)器件，利用新的基于RSD與DLD新一代的固態(tài)器件可以顯著的提升脈沖功率的開關(guān)特性。其優(yōu)異的高功率開關(guān)特性，可用于先進的激光物理，粒子加速器，雷達技術(shù)，核物理研究，污水與廢棄物凈化，電磁脈沖，電動液壓等應用。