Renishaw雷尼紹RESR系列圓光柵

雷尼紹RESR圓光柵具有優(yōu)越的性能。RESR刻劃精度達(dá)±0.5角秒、分辨率達(dá)0.004角秒，適用于精度要求的測(cè)量場(chǎng)合。

頂部RESR圓光柵

RESR圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20 μm柵距RESR與RGH20和RGH35讀數(shù)頭兼容，而40 μm柵距RESR與RGH34和RGH40讀數(shù)頭兼容。

刻劃精度達(dá)±0.5角秒，系統(tǒng)重復(fù)性達(dá)0.004角秒

提供多種直徑和刻線數(shù)，可與一系列具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從52 mm到550 mm，刻線數(shù)從4096到86 400）

具有專Li的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)集成

10 mm x 10 mm小截面圓光柵

低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的設(shè)計(jì)增強(qiáng)了動(dòng)態(tài)性能

一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動(dòng)、機(jī)械和熱撞擊，以及熱負(fù)載

為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復(fù)時(shí)間，還可提供轉(zhuǎn)動(dòng)量極低的"B"截面圓光柵

參考零位（具有可重復(fù)的起始位置）由單獨(dú)的勵(lì)磁塊提供

20 μm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數(shù)頭兼容

升級(jí)為TONiC

頂部RGH20讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)

讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)小巧，能夠提供具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出

非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

讀數(shù)頭的LED安裝指示燈簡(jiǎn)化了安裝過程

具有專li的光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下，仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性

REF接口提供自動(dòng)增益控制 (AGC)、自動(dòng)平衡控制 (ABC) 和自動(dòng)偏移量控制 (AOC)，極大降低了周期誤差 (<±50 nm)

參考零位提供可重復(fù)的起始位置，而限位開關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)

可提供超高真空兼容型RGH20F版本

技術(shù)規(guī)格

讀數(shù)頭尺寸

14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)

10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)

9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)

輸出（分辨率）

RS422：5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm（RGH20F）、10 nm（RGH20F）、5 nm（RGH20F）

模擬：1 Vpp

細(xì)分

RGH20 — 內(nèi)置細(xì)分電路達(dá)50 nm

RGH20F — REF接口（x4至x4 000）（可獲得從x4至x4096的二進(jìn)制細(xì)分系數(shù)）

RGH35 — RGI34接口（x4至x400）

參考零位 勵(lì)磁塊上的螺栓

限位開關(guān) 單限位（RGH40與40 μm柵距RESR具有雙限位）

速度高達(dá) 2938轉(zhuǎn)/分（直徑為?52 mm時(shí)為20 μm）

間隙公差

0.8 ±0.08 mm

柵尺類型 20 μm柵距（與RGH20和RGH35兼容）和40 μm柵距（與RGH34和RGH40兼容）RESR圓光柵

真空兼容 是 — RGH20F和20 μm柵距RESR

頂部系統(tǒng)精度 — 20 μm柵距RESR與RGH20

標(biāo)稱外徑 (mm)

系統(tǒng)精度（角秒）

52 5.6

57 5.1

75 3.9

100 2.9

101 2.9

103 2.8

104 2.8

115 2.5

150 1.9

200 1.4

標(biāo)稱外徑 (mm)

系統(tǒng)精度（角秒）

206 1.4

209 1.4

229 1.3

255 1.1

300 1.0

350 0.8

413 0.7

417 0.7

489 0.6

550 0.5

注：系統(tǒng)誤差等于刻度誤差加上電子細(xì)分誤差 (SDE)。偏心等作用會(huì)影響安裝性能；