在實(shí)際生產(chǎn)中,采用蒸餾法分離銦、錫時(shí),可考慮采用微負(fù)壓系統(tǒng)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的升級(jí)改進(jìn)。通過(guò)改善工藝條件和調(diào)整技術(shù)參數(shù)等,以充分的降低能耗,并獲得更好的銦、錫分離效果,這也是今后產(chǎn)業(yè)化試驗(yàn)研究的主要方向。
ITO靶材有中低端和高端之分:中低端ITO靶材有玻璃鍍膜靶材、發(fā)熱膜和熱反射膜靶材,包括汽車的顯示屏、一些儀器儀表的顯示。高端ITO靶材主要用于顯示器薄膜靶材、集成電路薄膜靶材以及磁記錄和光記錄膜靶材,尤其用于大面積、大規(guī)格的LED、OLED等領(lǐng)域,具備高密度、高純度、高均勻性等特點(diǎn)。
中國(guó)已經(jīng)是世界的ITO靶材需求國(guó),在全球的比重將從2016年的40%提高到2019年的49%,則中國(guó)對(duì)ITO靶材的需求量從2016年的542噸增長(zhǎng)到2019年的823噸。
目前中國(guó)ITO靶材供應(yīng)超一半左右依賴進(jìn)口。本土廠商生產(chǎn)的ITO靶材主要供應(yīng)中低端市場(chǎng),僅占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)30%的份額;而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國(guó)進(jìn)口,占據(jù)了70%的市場(chǎng)份額。