采用蒸餾法進(jìn)行銦錫的分離及資源化試驗(yàn),在油浴溫度132 ℃左右,蒸餾5 h左右,可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率;本試驗(yàn)工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時(shí),還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過(guò)程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序,節(jié)約酸堿中和成本的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。
ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近50%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過(guò)一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(jié)(1600度,通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。
全球銦資源的分布也極不平衡,我國(guó)是世界上銦資源豐富的國(guó)家,已探明儲(chǔ)量占比達(dá)72.7%。同時(shí),受進(jìn)口靶材免稅政策即將到期的影響,未來(lái)進(jìn)口靶材的成本有可能會(huì)大大增加,從而使國(guó)產(chǎn)ITO靶材供應(yīng)成本優(yōu)勢(shì)更加顯著。
目前中國(guó)ITO靶材供應(yīng)超一半左右依賴進(jìn)口。本土廠商生產(chǎn)的ITO靶材主要供應(yīng)中低端市場(chǎng),僅占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)30%的份額;而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國(guó)進(jìn)口,占據(jù)了70%的市場(chǎng)份額。