國內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

采用蒸餾法進(jìn)行銦錫的分離及資源化試驗(yàn)，在油浴溫度132 ℃左右，蒸餾5 h左右，可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率；本試驗(yàn)工藝可得到99.97%純度的金屬銦產(chǎn)品的同時(shí)，還可繼續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)的副產(chǎn)品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經(jīng)冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序，節(jié)約酸堿中和成本的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了清潔生產(chǎn)。

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ITO靶材可應(yīng)用于以下領(lǐng)域：（1）平板顯示器（FPD）產(chǎn)業(yè)，如薄膜晶體管顯示器（TFT-LCD）、液晶顯示器（LCD）、高觸摸屏（TouchPanel）、等離子管顯示器（PDP）、有機(jī)電致發(fā)光顯示（OLED）等；（2）光伏產(chǎn)業(yè)，如薄膜太陽能電池；功能性玻璃，如紅外線反射玻璃、抗紫外線玻璃如幕墻玻璃、飛機(jī)、汽車上的防霧擋風(fēng)玻璃、光罩和玻璃型磁盤等。其中，平板顯示器及太陽能電池是其主要應(yīng)用領(lǐng)域。