國內外關于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術的相關研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

火濕法聯合類的主要工藝為以氫氣還原得到銦錫合金，合金再通過精細化的電解精煉進行銦錫的分離等；該技術的缺點是錫主要存在于陽極泥中，銦電解過程中的陽極殘級率高，銦的回收率﹤98%。

為了進一步極限化的提高銦錫的收率，進一步簡化工序，提升生產效率，減少環(huán)境污染，此次在基于氯化錫具有相對較低沸點的特性的基礎上，設計了“鹽酸浸出—蒸餾分離銦錫—鋅或鋁置換銦—蒸出錫提純制五水氯化錫/蒸出酸回用”的技術方案，并進行了系統的試驗驗證。

2017年6月，工信部發(fā)布《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2017年版）》，提出了平板顯示用ITO靶材、平板顯示用高純鉬靶材等重點新材料的應用領域。伴隨ITO技術和產能突破瓶頸，國產ITO靶材憑借成本和性價比優(yōu)勢將逐步占領市場。