國內外關于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術的相關研究較多,主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出,浸出液經氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦,該方法的缺點是銦錫分離率低,氧化錫渣等中含銦約1%~2%,銦直收率﹤97%。
采用蒸餾法進行銦錫的分離及資源化試驗,在油浴溫度132 ℃左右,蒸餾5 h左右,可得到滿意的銦、錫分離效果及理想的銦錫回收率;本試驗工藝可得到99.97%純度的金屬銦產品的同時,還可繼續(xù)生產高品質的副產品五水氯化錫。蒸餾過程初期蒸出的鹽酸經冷凝回收后回用至鹽酸浸出工序,節(jié)約酸堿中和成本的同時實現(xiàn)了清潔生產。
2017年6月,工信部發(fā)布《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2017年版)》,提出了平板顯示用ITO靶材、平板顯示用高純鉬靶材等重點新材料的應用領域。伴隨ITO技術和產能突破瓶頸,國產ITO靶材憑借成本和性價比優(yōu)勢將逐步占領市場。
ITO靶材生產所消耗的銦錠占全球銦消費總量的70%左右,其它包括電子半導體領域、合金和焊料領域、研究行業(yè)。全球預估銦儲量僅5萬噸,其中可開采部分僅有50%。