國內(nèi)外關(guān)于ITO廢靶材的資源化利用和無害化處置技術(shù)的相關(guān)研究較多，主要可分為濕法、火法以及火濕法聯(lián)合三大類。濕法類主要的提取方式為鹽酸浸出，浸出液經(jīng)氧化法或使用鋁粉、鋅粉等分離銦錫后再置換得到粗銦，該方法的缺點(diǎn)是銦錫分離率低，氧化錫渣等中含銦約1%～2%，銦直收率﹤97%。

在實(shí)際生產(chǎn)中，采用蒸餾法分離銦、錫時，可考慮采用微負(fù)壓系統(tǒng)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的升級改進(jìn)。通過改善工藝條件和調(diào)整技術(shù)參數(shù)等，以充分的降低能耗，并獲得更好的銦、錫分離效果，這也是今后產(chǎn)業(yè)化試驗(yàn)研究的主要方向。

ITO（氧化銦錫）靶材是濺射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一種，在顯示靶材中占比將近50%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(jié)（1600度，通氧氣燒結(jié)）形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。

目前中國ITO靶材供應(yīng)超一半左右依賴進(jìn)口。本土廠商生產(chǎn)的ITO靶材主要供應(yīng)中低端市場，僅占國內(nèi)市場30%的份額；而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國進(jìn)口，占據(jù)了70%的市場份額。