等離子凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質(zhì)齒板放電裝置，頂部放電形式產(chǎn)生離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì)，其所擁有的 電子能在毫秒級(jí)的時(shí)間內(nèi)，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng)，產(chǎn)生、的活性自由基和各種電子、離子等，在與機(jī)廢氣中的分子碰撞時(shí)會(huì)發(fā)生一系列基元物化反應(yīng)，并在反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧。

等離子廢氣處理設(shè)備特點(diǎn)：

1、 易于組合：該套設(shè)備易于集成，能夠適用各種工業(yè)應(yīng)用，能與其它氣體凈化設(shè)備（如高活化生物廢氣凈化塔等）結(jié)合，達(dá)到理想的廢氣凈化效果。

2、 處理：低溫等離子反應(yīng)器只需處理新鮮空氣，使其電極間距離可以減小，利于增強(qiáng)模組內(nèi)的電場(chǎng)強(qiáng)度，從而能夠在不提升能耗的條件下，增加生成粒子的活性并提高粒子密度，凈化效率超過(guò)90%。

3、 可調(diào)性強(qiáng)：設(shè)備可根據(jù)客戶(hù)需求選擇，在運(yùn)行時(shí)可以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)，在廢氣風(fēng)量較小的條件下選用較低的運(yùn)行功率。

4、 運(yùn)行穩(wěn)定：廢氣不直接經(jīng)過(guò)等離子發(fā)生器，不會(huì)因電極火花使易燃易爆氣體發(fā)生爆炸，廢氣不參與低溫等離子體生成過(guò)程，不會(huì)對(duì)放電穩(wěn)定性產(chǎn)生影響，使成氧離子體的過(guò)程穩(wěn)定、可控。同時(shí)能減少副產(chǎn)物（如臭氧）的生成。

5、 空間小、重量輕：由于使用新鮮空氣而非廢氣生成低溫等離子體，使得低溫等離子體系統(tǒng)整體體積顯著減小，各部件間的結(jié)構(gòu)緊湊。

6、 維護(hù)簡(jiǎn)單：設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不需要附加額外的清潔系統(tǒng)、冷卻設(shè)備等。日常清潔所需的花費(fèi)少，運(yùn)行、維護(hù)成本低。設(shè)備獨(dú)立于廢氣排放管道之外，不需要停產(chǎn)即可對(duì)設(shè)備進(jìn)行日常維護(hù)或清潔工作。