光柵尺
材料
B270i、K9、SUS304等
面形
平整度<2um
平行度<2um
光刻圖案精度
±1um
外形加工精度
±0.05mm
同心度
≤0.05mm
加工長(zhǎng)度
≤300mm
光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。