凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重,是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前,這些材料料是被廣泛采用的。
大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴(yán)格的要求。因此,在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因?yàn)橄募臼彝饪諝馐歉邷?、高濕的),冬季要加熱加濕(因?yàn)槎臼彝饪諝馐呛涓稍锏模覂?nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電,靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。
還有一個值得注意的問題是,近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計(jì)算相對濕度要低,例如:冬季室外計(jì)算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%,上海和蘇州為75%,而這些年實(shí)測的室外相對濕度有時(shí)只有30%左右,因此,建起來運(yùn)行的潔凈室的加濕量不足,室內(nèi)相對濕度偏低,達(dá)不到設(shè)計(jì)要求。有的工廠為了簡便和省錢,在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進(jìn)行加濕以加大加濕量。但是,事與愿違,不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來,而達(dá)不到加濕目的。因?yàn)?,濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程,加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。如果不進(jìn)行加熱是不可行的。