無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設(shè)備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來搭配，才能保持良好的潔凈度；無塵室運(yùn)行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人士來執(zhí)行。

無塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競爭力，各個(gè)行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。

經(jīng)測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

建造一個(gè)合格的電子無塵車間需要考慮多個(gè)因素，包括空氣過濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程。空氣過濾：安裝的空氣過濾系統(tǒng)是建造無塵車間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進(jìn)入車間。