相比傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng),微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical systems,MEMS)麥克風(fēng)擁有體積小、耐熱性好、一致性好、穩(wěn)定性好、可靠性高、抗射頻干擾等優(yōu)勢,還可以輸出數(shù)字信號并有利于智能化發(fā)展,其市場規(guī)模在近10年保持快速增長的勢頭,各種新興應(yīng)用層出不窮,從智能手機(jī)到智能音箱,再到真無線立體聲(true wireless stereo,TWS)耳機(jī)。
鋁帶麥克風(fēng)
對于鋁帶麥克風(fēng)來說,其使用的鋁帶既是麥克風(fēng)膜片,又是在磁場中運動的導(dǎo)體。鋁帶通常由鋁帛制成,厚0~1毫米,寬2毫米~4毫米,質(zhì)量僅為0.2毫克,以求達(dá)到較好的瞬態(tài)反應(yīng)。為了取得在2kHz~4kHz之間較理想的共振頻率,鋁帶被制成皺折狀以保持一個的張力值。鋁帶作為導(dǎo)體和麥克風(fēng)膜片被懸掛于兩磁極面中間的磁場中,隨入射聲波頻率而振動,同時在鋁帶兩端產(chǎn)生一定的電壓輸出
靈敏度
指麥克風(fēng)的開路電壓與作用在其膜片上的聲壓之比。實際上,麥克風(fēng)在聲場必然會引起聲場散射,所以靈敏度有兩種定義。一種是實際作用于膜片上的聲壓,稱為聲壓靈敏度,另一種是指麥克風(fēng)未置入聲場的聲場聲壓,稱為聲場靈敏度,其中聲場靈敏度又分為自由場靈敏度和擴(kuò)散場靈敏度。通常錄音用麥克風(fēng)給出聲壓靈敏度,測量用麥克風(fēng)因應(yīng)用類型給出聲壓或聲場靈敏度 。
靈敏度的單位是伏/帕(伏特/帕斯卡,V/Pa),通常使用靈敏度級來表示,參考靈敏度為1V/Pa
有動圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器,此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。
動圈傳聲器音質(zhì)較好,但體積龐大。
駐極體傳聲器體積小巧,成本低廉,在電話、手機(jī)等設(shè)備中廣泛使用。
硅微麥克風(fēng)基于CMOSMEMS技術(shù),體積更小。其一致性將比駐極體電容器麥克風(fēng)的一致性好4倍以上,所以MEMS麥克風(fēng)特別適合高性價比的麥克風(fēng)陣列應(yīng)用,其中,匹配得更好的麥克風(fēng)將改進(jìn)聲波形成并降低噪聲。