一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風。這一方法的優(yōu)點就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風有相當難度，因為在兩個電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對于電容式麥克風的研究一直沒有間斷過

電容型

電容式麥克風有兩塊金屬極板，其中一塊表面涂有駐極體薄膜（多數(shù)為聚全氟乙丙烯）并將其接地，另一極板接在場效應(yīng)晶體管的柵極上，柵極與源極之間接有一個二極管。當駐極體膜片本身帶有電荷，表面電荷地電量為Q，板極間地電容量為C，則在極頭上產(chǎn)生地電壓U=Q/C，當受到振動或受到氣流地摩擦時，由于振動使兩極板間的距離改變，即電容C改變，而電量Q不變，就會引起電壓的變化，電壓變化的大小，反映了外界聲壓的強弱，這種電壓變化頻率反映了外界聲音的頻率，這就是駐極體傳聲器地工作原理

靈敏度

指麥克風的開路電壓與作用在其膜片上的聲壓之比。實際上，麥克風在聲場必然會引起聲場散射，所以靈敏度有兩種定義。一種是實際作用于膜片上的聲壓，稱為聲壓靈敏度，另一種是指麥克風未置入聲場的聲場聲壓，稱為聲場靈敏度，其中聲場靈敏度又分為自由場靈敏度和擴散場靈敏度。通常錄音用麥克風給出聲壓靈敏度，測量用麥克風因應(yīng)用類型給出聲壓或聲場靈敏度 。

靈敏度的單位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用靈敏度級來表示，參考靈敏度為1V/Pa

輸出阻抗：

從話筒的引線兩端看進去的話筒本身的阻抗稱為輸出阻抗。

目前常見的話筒有高阻抗與低阻抗之分。高阻抗的數(shù)值約1000～20000歐姆，它可直接和放大器相接；面低阻抗型為50～1000歐姆，要經(jīng)過變壓器匹配后，才能和放大器相接。高組抗的輸出電壓略高，但引線電容所起的旁路作用較大，使高頻下降，同時也易受外界的電磁場干擾，所以，話筒引線不宜太長，一般以10～20米為宜。低阻抗輸出無此缺陷，所以噪音水平較低，傳聲器引線可相應(yīng)的加長，有的擴音設(shè)備所帶的低阻抗傳聲器引線可達100米。如果距離更長，就應(yīng)加前級放大器。