PFA花籃（PFA wafer Cassette）又名清洗花藍(lán) ，特氟龍卡匣 ，特氟龍晶舟盒 ，特氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。

主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。

二、參數(shù)

名稱

規(guī)格

耐溫性

應(yīng)用

PFA花籃

PP Cassette

2寸

-200~260℃

酸堿傳輸制程

4寸

6寸

三、特點

1.耐腐蝕：耐受強酸強堿

2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸

3.耐高低溫：-200~260℃

4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關(guān)；

5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；

6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染

7.化學(xué)性能穩(wěn)定

公司擁有三十多年PFA制品生產(chǎn)加工經(jīng)驗，公司投入大量人力、物力致力于太陽能光伏相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)，截止目前，公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃，太陽能硅片承載器,硅片花藍(lán),,半導(dǎo)體清洗花籃。