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ITO靶材的制備通常采用物相沉積（PVD）或化學氣相沉積（CVD）等方法。PVD法通過濺射技術將銦和錫等材料沉積在基材上，形成ITO薄膜。CVD法則是通過氣相反應在基材表面生成ITO薄膜。這兩種方法都能夠生產(chǎn)高質量、均勻的ITO薄膜，但PVD法更為常見。

ITO靶材作為重要的透明導電材料，在電子產(chǎn)業(yè)中扮演著重要角色。為了實現(xiàn)資源的可持續(xù)利用，銦元素的回收變得尤為重要。目前，化學、物理和電化學回收法都在不同程度上取得了一定的成果，但仍需要進一步的研究和改進。隨著技術的不斷發(fā)展，我們有望找到更加、環(huán)保的ITO靶材回收方法，為電子產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展做出貢獻。