ITO靶材的制備通常采用物相沉積（PVD）或化學(xué)氣相沉積（CVD）等方法。PVD法通過濺射技術(shù)將銦和錫等材料沉積在基材上，形成ITO薄膜。CVD法則是通過氣相反應(yīng)在基材表面生成ITO薄膜。這兩種方法都能夠生產(chǎn)高質(zhì)量、均勻的ITO薄膜，但PVD法更為常見。

鈀是一種稀有的貴金屬，廣泛應(yīng)用于汽車尾氣催化劑、電子工業(yè)、制藥等領(lǐng)域。由于鈀的需求量不斷增加，回收鈀成為了一種重要的資源利用方式。

目前鈀的回收方法主要有兩種：化學(xué)還原法和高溫還原法。

1. 化學(xué)還原法

化學(xué)還原法是一種較為常見的鈀回收方法，其原理是利用化學(xué)試劑將鈀離子還原成鈀單質(zhì)。具體操作方法是將廢鈀料放入燒杯中，加入適量的鹽酸溶解，再加入還原劑將鈀離子還原成鈀單質(zhì)，后將溶液中的鈀單質(zhì)過濾出來。這種方法操作簡單，成本較低，但需要嚴(yán)格控制反應(yīng)條件，避免雜質(zhì)離子的干擾。

2. 高溫還原法

高溫還原法是指在高溫下將鈀氧化物還原成鈀單質(zhì)。這種方法需要使用高溫爐進(jìn)行加熱，通常在惰性氣氛中進(jìn)行，以避免氧化。高溫還原法的優(yōu)點是可以處理大量的廢鈀料，且回收率較高，但缺點是需要消耗大量的能源和昂貴的設(shè)備。

回收的鈀需要進(jìn)行妥善的保存，以避免氧化或污染。以下是幾種常見的回收鈀的保存方式：

1. 密封保存

將回收的鈀放入密封容器中，排除空氣，以避免氧化。容器應(yīng)選擇硬紙盒或紙板制成的可密封的容器，同時容器內(nèi)應(yīng)放置吸濕劑以保持干燥。

2. 防潮保存

鈀是一種金屬粉末，容易吸濕并與空氣中的氧氣發(fā)生反應(yīng)。因此，回收的鈀應(yīng)存放在干燥的環(huán)境中，并保持容器密封，以避免受潮和氧化。

3. 分類保存

不同類型的鈀回收料應(yīng)分別存放，以避免不同類型料之間的相互污染。同時，不同類型的料也應(yīng)進(jìn)行標(biāo)識和記錄，以便于管理和追蹤。

4. 定期檢查

定期檢查回收鈀的保存情況，如發(fā)現(xiàn)有氧化或污染等問題，應(yīng)及時采取措施進(jìn)行處理。同時，也應(yīng)對保存容器進(jìn)行檢查，以確保其密封性和完好性。

鈀粉是一種惰性金屬，它不會與大多數(shù)酸和堿反應(yīng)，也不會與大多數(shù)其他元素形成化合物。然而，在高溫和高壓下，鈀粉能夠和氫氣反應(yīng)，生成一種叫作鈀氫化物的化合物，這使得鈀成為一種重要的催化劑。