ITO靶材,氧化銦錫(Indium Tin Oxide),一種重要的透明導(dǎo)電材料。在薄膜制備領(lǐng)域,ITO靶材作為一種基本的原材料,被廣泛應(yīng)用于電子和光電子設(shè)備中。它能在保持高透明度的同時(shí),提供良好的電導(dǎo)性,這使得ITO成為制備透明導(dǎo)電薄膜的理想選擇。
成分解析與化學(xué)構(gòu)成
ITO靶材是由銦(In)和錫(Sn)兩種元素在氧化環(huán)境下形成的化合物?;瘜W(xué)公式為In2O3:SnO2,通常情況,銦和錫的比例在重量上大約為 90:10。這種特定的化學(xué)組合確保了材料的高透明度,的電導(dǎo)性。銦的主要作用是提供高電導(dǎo)性,錫的加入用于增強(qiáng)整個(gè)材料的化學(xué)穩(wěn)定性和機(jī)械硬度。
物理與化學(xué)特性
光學(xué)透明性:ITO顯示出高度的透明性,尤其在可見光波段,這使其在液晶顯示器和觸摸屏等應(yīng)用中尤為關(guān)鍵。
電導(dǎo)率:ITO的電導(dǎo)率是其另一項(xiàng)顯著特性,這主要?dú)w因于銦錫氧化物的電子結(jié)構(gòu),使其成為理想的導(dǎo)電材料,特別是在需要透明電極的應(yīng)用中。
熱穩(wěn)定性:在高溫下,ITO能夠保持其化學(xué)和物理性質(zhì)的穩(wěn)定,這對(duì)于在高溫下操作的電子設(shè)備至關(guān)重要。
機(jī)械硬度:盡管ITO具有一定的脆性,但其機(jī)械硬度仍足以滿足大多數(shù)電子應(yīng)用的要求。