凈室，又稱無塵室、潔凈室或清凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過的（如沒有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。

溫濕度要求比一般空調高一般空調要求在18°C~26 °C之間，相對濕度則在40%~65%之間；凈室空調必須控制在22°C~24 °C之間，相對濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導體制程對溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

所需的外氣較多由于半導體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。

在一個建設場地內(nèi)，確定各廠房設計方案時，宜使構配件的類型統(tǒng)一。

在技術經(jīng)濟合理的基礎上，廠房的體形應力求簡單，避免設置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構配件標準設計圖集時，應使用途相同的構配件具有限度的互換性。

廠房建筑設計除應符合本標準的有關規(guī)定外，還應符合現(xiàn)行有關國家標準的規(guī)定。