溫濕度要求比一般空調(diào)高一般空調(diào)要求在18°C~26 °C之間，相對濕度則在40%~65%之間；凈室空調(diào)必須控制在22°C~24 °C之間，相對濕度則在45%~55%。

恒溫恒濕控制由于半導(dǎo)體制程對溫濕度變化的大小極為敏感，故在凈室大部分區(qū)域必須控制在± 1°C及± 3%之內(nèi)。

空調(diào)系統(tǒng)24小時全天運轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機臺，些微的溫、濕度變化均會使設(shè)備的準度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時監(jiān)控管理之。

本標準適用于：

一、設(shè)計裝配式或部分裝配式的鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)和混合結(jié)構(gòu)廠房；

二、編制廠房建筑構(gòu)配件標準設(shè)計圖集。

注：①設(shè)計鋼結(jié)構(gòu)廠房、受條件限制的改（擴）建廠房、現(xiàn)澆式鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)廠房、工藝對廠房有特殊要求的廠房或按本標準設(shè)計在技術(shù)經(jīng)濟上會產(chǎn)生顯著不合理的廠房，可不執(zhí)行本標準的某些規(guī)定；②采用新技術(shù)、新結(jié)構(gòu)和新材料的廠房，可不受本標準某些規(guī)定的限制。

在一個建設(shè)場地內(nèi)，確定各廠房設(shè)計方案時，宜使構(gòu)配件的類型統(tǒng)一。

在技術(shù)經(jīng)濟合理的基礎(chǔ)上，廠房的體形應(yīng)力求簡單，避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構(gòu)配件標準設(shè)計圖集時，應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。

廠房建筑設(shè)計除應(yīng)符合本標準的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國家標準的規(guī)定。