凈室的定義為:將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長(zhǎng)凈室ULPAfilter的壽命,但不能無(wú)條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>
凈室是一種以合理的成本開發(fā)高質(zhì)量軟件的基于理論、面向工作組的方法。凈室是基于理論的,因?yàn)閳?jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)是任何工程學(xué)科所不可缺少的。再好的管理也代替不了理論基礎(chǔ)。凈室是面向工作組的,因?yàn)檐浖怯扇碎_發(fā)出來(lái)的,并且理論必須簡(jiǎn)化到實(shí)際應(yīng)用才能引導(dǎo)人的創(chuàng)造力和協(xié)作精神。凈室是針對(duì)經(jīng)濟(jì)實(shí)用軟件的生產(chǎn)的,因?yàn)樵诂F(xiàn)實(shí)生活中,業(yè)務(wù)和資源的限制必須在軟件工程中予以滿足。后,凈室是針對(duì)高質(zhì)量軟件的生產(chǎn)的,因?yàn)楦哔|(zhì)量改進(jìn)管理,降低風(fēng)險(xiǎn)及成本,滿足用戶需求,提供競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。
工業(yè)廠房,指直接用于生產(chǎn)或?yàn)樯a(chǎn)配套的各種房屋,包括主要車間、輔助用房及附屬設(shè)施用房。凡工業(yè)、交通運(yùn)輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學(xué)校等單位中的廠房都應(yīng)包括在內(nèi)。工業(yè)廠房除了用于生產(chǎn)的車間,還包括其附屬建筑物。