凈室的定義為：將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環(huán)境。亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子相當少，稱之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

凈室系統(tǒng)，制造匹配規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風管道間（Mech. Chase），將凈室之循環(huán)風量與外氣空調(diào)箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，透過循環(huán)風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

空調(diào)系統(tǒng)24小時全天運轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對溫濕度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機臺，些微的溫、濕度變化均會使設(shè)備的準度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時監(jiān)控管理之。

工業(yè)廠房，指直接用于生產(chǎn)或為生產(chǎn)配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設(shè)施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學(xué)校等單位中的廠房都應(yīng)包括在內(nèi)。工業(yè)廠房除了用于生產(chǎn)的車間，還包括其附屬建筑物。