可完全代替進(jìn)口爐體,優(yōu)質(zhì)加熱爐絲,進(jìn)口保溫材料,采用國外先進(jìn)加工工藝,爐體可長期使用在高溫下,處理12英寸以下硅片,工作溫度200—1300℃。
技術(shù)指標(biāo):
加熱爐絲:瑞典康泰爾高溫爐絲
保溫材料:英國摩根進(jìn)口保溫棉
絕緣材料:高純度95瓷拉條絕緣子
使用溫度:200℃—1300℃
外 殼:不銹鋼板
端 口:優(yōu)質(zhì)氧化鋁氧化鋯
控溫段:3段、5段、9段控溫
口 徑:Φ80mm—Φ500mm
恒溫區(qū):根據(jù)工藝要求