羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演化而來的。依據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機(jī)械增壓泵)和高真空多級(jí)羅茨泵。普通來說,羅茨泵具有以下特性:
在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速;
起動(dòng)快,能立刻工作;
對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感;
轉(zhuǎn)子不用光滑,泵腔內(nèi)無油;
振動(dòng)小,轉(zhuǎn)子動(dòng)均衡條件較好,沒有排氣閥;
驅(qū)動(dòng)功率小,機(jī)械摩擦損失小;
構(gòu)造緊湊,占空中積??;
運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。
因而,羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門得到普遍的應(yīng)用。