北京研拓科技有限公司成立于2005年,是一家致力于射頻技術(shù)、特種電源和真空測試等領(lǐng)域生產(chǎn)和研發(fā)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
2006年由COMDEL公司投資成立COMDEL北京維修中心,負責(zé)中國區(qū)射頻電源的維修和服務(wù)。2008年升級為COMDEL中國辦事處,主要負責(zé):
◆中國區(qū)射頻電源的銷售
◆中國區(qū)射頻電源的維修(保修期內(nèi)免費)
◆售前售后技術(shù)咨詢和服務(wù)
◆ 客戶現(xiàn)場技術(shù)
射頻領(lǐng)域:先后為應(yīng)用材料公司、牛津儀器、諾發(fā)科技等國際知名設(shè)備供應(yīng)商提供維修和技術(shù)支持等服務(wù)。
產(chǎn)品種類:
◆ 單頻射頻電源
◆ 雙頻射頻電源
◆ 直流電源
◆ ESC靜電卡盤電源
◆ 自動調(diào)諧匹配網(wǎng)絡(luò)
應(yīng)用對象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng),也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源
目前,由北京研拓科技有限公司成功研制的國產(chǎn)自動匹配器正式投入市場使用。并與電源完全獨立,可配置國產(chǎn)、進口任何品牌的射頻電源,具有低成本、高性價比、質(zhì)量可靠、服務(wù)優(yōu)良等優(yōu)勢。
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